作者:标准资料网 时间:2024-05-19 15:33:37   浏览:9539   来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardGuideforSelectionandUseofEtchingSolutionstoDelineateStructuralDefectsinSilicon
【原文标准名称】:造成硅的结构性缺陷的浸蚀溶液的选择与使用标准指南
【标准号】:ASTMF1809-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(Guide)
【标准水平】:()
【中文主题词】:硅;缺陷;腐蚀剂;腐蚀检查;半导体工艺;选择
【英文主题词】:defectdensity;dislocation;grainboundary;microscopic;polycrystalline;imperfection;preferentialetch;silicon;slip
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thisguidecoverstheformulation,selection,anduseofchemicalsolutionsdevelopedtorevealstructuraldefectsinsiliconwafers.Etchingsolutionsidentifycrystaldefectstha
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:9P.;A4
【正文语种】: